ナノ固体潤滑剤は、粒子がナノメートルスケールであるため、特別な表面特性を持っています。優れた潤滑性能を発揮するナノ複合材料やナノ皮膜の作成にナノ固体潤滑剤が欠かせません。その製造には、ナノ粒子を均一に分散させる高度な技術、例えば超音波処理やビーズミリングが使用されます。典型的なナノサイズの固体潤滑剤には、ナノ二硫化タングステン(WS₂)、ナノに硫化モリブデン(MoS₂)、ナノ六方晶窒化ホウ素(h-BN)、およびナノダイヤモンドやグラフェン等ナノ炭素が挙げられます。